Unterdruckregelungsanlage
Mittwoch, 18. Oktober 2017
Unterdruckregelungsanlage

Unterdruckregelungsanlage

Die Unterdruckregelungsanlage dient zur Regelung des Prozessdrucks in einer Prozesskammer zwischen Normaldruck und einem definierten Unterdruck und besteht im wesentlichen aus folgenden Baugruppen

  • RegelbehĂ€lter
  • UnterdruckbehĂ€lter
  • GasbehĂ€lter

Der RegelbehĂ€lter dient als Puffer zwischen der Prozesskammer und dem Unterdruck- bzw. GasbehĂ€lter. Ein digitales Auswertesystem erhĂ€lt den Druck-Sollwert der Prozesskammer und vergleicht ihn mit dem Druck-Sollwert der vorhandenen ĂŒbergeordneten Regelung. Über gesteuerte Regel-Ventile erfolgt eine automatische Anpassung an die gewĂŒnschten Sollwerte.