NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

IBF-100

Die Ionenstrahlbearbeitungsanlage IBF-100 ist eine verfahrenstechnische Anlage zur nanometergenauen Formkorrektur kleinformatiger Ober­­­­­­flächen.

Die IBF-100 stellt eine konsequente Weiterentwicklung der größeren Anla­gen IBF-300, IBF-450 und IBF-700 dar. Die letzgenannten Anlagen werden mit großem Erfolg seit nun­mehr über 25 Jahren in der High-End-Bearbeitung überwie­gend großformatiger op­­ti­scher Bau­teile ein­ge­­setzt (PV-Werte <λ/100, λ=633nm – rms-Werte <1nm – Lin­sen für Stepper-Ob­jek­tive in der Halb­leiter­­fer­ti­gung). Die IBF-100 hingegen wur­de ent­wickelt, um Oberflächen klein­­for­ma­ti­ger Bau­teile innerhalb kürzester Zeit von PV-Werten im Bereich von λ/5 als Eingangs­größe auf λ/10 und besser zu opti­mie­ren. Dabei wurde besonderes Augen­merk auf kurze Taktzeiten gelegt.

Es können Bauteile mit einem Werkstückdurchmesser von 5-70mm Durch­messer, einer max. Werkstückdicke von 45mm und max. Randwinkeln von 60° bearbeitet werden. Die Bauteile können konvex, plan oder konkav sein. Prinzipiell gibt es nahe­­zu keine Einschränkungen für die Bearbeitung von Geometrien innerhalb der vor­genannten Abmessungen.

TECHNISCHE DATEN

Anlage, komplett
Abmessungen:

  • Länge: 1560 mm
  • Breite: 1300 mm
  • Höhe: 2170 mm, incl. Aufbauten
  • Platzbedarf: Fläche Ø4m, oder 3x3m
  • Gewicht: 1.850 kg

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IBF 100

Werkstückdaten

  • max. Werkstückdurchmesser: 70mm
  • max. Werkstückdicke: 45mm incl. Fassung, bzw. Aufnahme
  • max. Randwinkel: 60°