IBF-100
Mittwoch, 18. Oktober 2017
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IBF-100 - Laser World of Photonics
IBF-100 - Laser World of Photonics
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Ionenstrahlbearbeitungsanlage IBF-100

Die Ionenstrahlbearbeitungsanlage IBF-100 ist eine verfahrenstechnische Anlage zur nanometergenauen Formkorrektur kleinformatiger Ober­­­­­­flächen.

Hierbei handelt es sich um die neueste Entwicklung aus dem Hause NTG. Die IBF-100 stellt eine konsequente Weiterentwicklung der gr√∂√üeren Anla¬≠gen IBF-300, IBF-450 und IBF-700 dar. Die letzgenannten Anlagen werden mit gro√üem Erfolg seit nun¬≠mehr fast 20 Jahren in der High-End-Bearbeitung √ľberwie¬≠gend gro√üformatiger op¬≠¬≠ti¬≠scher Bau¬≠teile ein¬≠ge¬≠¬≠setzt (PV-Werte <λ/100, λ=633nm - rms-Werte <1nm - Lin¬≠sen f√ľr Stepper-Ob¬≠jek¬≠tive in der Halb¬≠leiter¬≠¬≠fer¬≠ti¬≠gung). Die IBF-100 hingegen wur¬≠de ent¬≠wickelt, um Oberfl√§chen klein¬≠¬≠for¬≠ma¬≠ti¬≠ger Bau¬≠teile innerhalb k√ľrzester Zeit von PV-Werten im Bereich von λ/5 als Eingangs¬≠gr√∂√üe auf λ/10 und besser zu opti¬≠mie¬≠ren. Dabei wurde besonderes Augen¬≠merk auf kurze Taktzeiten gelegt.

Es k√∂nnen Bauteile mit einem Werkst√ľckdurchmesser von 5-70mm Durch¬≠messer, einer max. Werkst√ľckdicke von 45mm und max. Randwinkeln von 60¬į bearbeitet werden. Die Bauteile k√∂nnen konvex, plan oder konkav sein. Prinzipiell gibt es nahe¬≠¬≠zu keine Einschr√§nkungen f√ľr die Bearbeitung von Geometrien innerhalb der vor¬≠genannten Abmessungen.

Realisiert wird der Prozess durch ein 4-Achsen Bewegungssystem mit drei trans¬≠latorischen und einer rotatorischen Achse, das in einer Vakuum¬≠kammer be¬≠trieben wird. Alle Achsen werden durch eine CNC-Steu¬≠erung gem√§√ü den voraus¬≠be¬≠rech¬≠ne¬≠ten Vektorfolgen (Folges√§tze) im Bahnbetrieb bewegt. Die Bearbeitung der Ober¬≠¬≠fl√§chen erfolgt durch einen in einer HF-Quelle erzeugten Ionenstrahl der m√§an¬≠der¬≠f√∂rmig √ľber ein Werkst√ľck gef√ľhrt wird. Die Bearbeitung der Oberfl√§chen erfolgt punkt¬≠genau √ľber eine Verweilzeitsteuerung der die interferometrisch gemessenen Aus¬≠gangs- und die gew√ľnschten Zieltopologien zugrundeliegen. Es ist auch m√∂glich nur Teilbereiche der Oberfl√§che zu bearbeiten.

Eine Bearbeitung gekr√ľmmter Oberfl√§chen ohne Schwenkachse wurde durch die Entwicklung neuer mathematischer Modelle f√ľr die Simulation m√∂glich.

E-Technik und Steuerung
NTG setzt eine im Haus entwickelte Steuerungstechnik f√ľr diese Anlage ein. Die Steu¬≠erung erfolgt √ľber eine grafische Benutzeroberfl√§che (Touchscreen). Der Prozess¬≠ablauf ist nahezu komplett automatisiert. Das hei√üt f√ľr den Bediener: Werkst√ľck einlegen, Programm laden, Prozess starten. Alle Arbeitsabl√§ufe der An¬≠lage wer¬≠den in einem log-file dokumentiert. Auf Wunsch kann NTG dieses log-file via In¬≠ter¬≠net auslesen und somit eine Ferndiagnose der Anlage durch¬≠f√ľhren.

TECHNISCHE DATEN
Anlage, komplett
Abmessungen:
Länge: 1560 mm
Breite: 1300 mm
Höhe: 2170 mm, incl. Aufbauten
Platzbedarf: Fl√§che: √ė4m, oder 3x3m
Gewicht: 1.100 kg

Werkst√ľckdaten:
max. Werkst√ľckdurchmesser: 70mm
max. Werkst√ľckdicke: 45mm incl. Fassung, bzw. Aufnahme
max. Randwinkel: 60¬į