Pr├Ązisions-Lineardurchf├╝hrungen
Dienstag, 12. Dezember 2017

Pr├Ązisions-Lineardurchf├╝hrung

Motor betriebene Pr├Ązisionsdurchf├╝hrungen dienen dem Zweck Elemente in einer Vakuum-Kammer mit h├Âchstm├Âglicher Genauigkeit linear zu verfahren.

Die Durchf├╝hrungen k├Ânnen mit einer wassergek├╝hlten Welle ausgestattet werden.

Technische Daten:

Anschlu├čflansch: min. DN 100 (CF oder ISO-K)
Positioniergenauigkeit: <10┬Ám (Abh├Ąngig vom eingesetzten Stepper-Motor)
Leckrate: <1e-10mbar*l/sec
Ausheizbar bis 300┬░C
Hub: nach Kundenvorgabe - bis 250mm

Alternativ k├Ânnen diese Durchf├╝hrungen auch als Doppeldurchf├╝hrung angeboten werden. Dies erlaubt die ├ťbertragung zweier voneinander unabh├Ąngigen Linearbewegungen in ein abgeschlossenes Vakuumsystem. Der universelle Aufbau erm├Âglicht eine einfache Montage (auch gek├╝hlter) Elemente am vakuumseitigen Ende der Durchf├╝hrung. In der Beschleunigertechnik findet die Lineardurchf├╝hrung Anwendung beim Aufbau von Schlitzsystemen, Kollimatoren, Emittanzme├čeinrichtungen und Scannern.