Motor betriebene Präzisionsdurchführungen dienen dem Zweck Elemente in einer Vakuum-Kammer mit höchstmöglicher Genauigkeit linear zu verfahren.

Die Durchführungen können mit einer wassergekühlten Welle ausgestattet werden.

Technische Daten:

Anschlußflansch: min. DN 100 (CF oder ISO-K)
Positioniergenauigkeit: <10µm (Abhängig vom eingesetzten Stepper-Motor)
Leckrate: <10-10mbar*l/sec
Ausheizbar bis 300°C
Hub: nach Kundenvorgabe - bis 250mm

Alternativ können diese Durchführungen auch als Doppeldurchführung angeboten werden. Dies erlaubt die Übertragung zweier voneinander unabhängigen Linearbewegungen in ein abgeschlossenes Vakuumsystem. Der universelle Aufbau ermöglicht eine einfache Montage (auch gekühlter) Elemente am vakuumseitigen Ende der Durchführung. In der Beschleunigertechnik findet die Lineardurchführung Anwendung beim Aufbau von Schlitzsystemen, Kollimatoren, Emittanzmeßeinrichtungen und Scannern.