PETRAIII, eine Synchrotronstrahlungsquelle der dritten Generation, wurde beim Deutschen Elektronen-Synchrotron (DESY) in Hamburg gebaut und ist 2009 in Betrieb gegangen. Zur Realisierung einer hochauflösenden Kleinwinkelstreuanlage wurde ein Röntgenmonochromator benötigt, der hohe mechanische Stabiltiät und hohe Präzision der Strahlführung aufweist. Des Weiteren erzeugt dieser Monochromator einen vertikalen Strahlversatz von 0,5m. Dazu wird eine Linearachse mit einem Verfahrweg von ca. 3m benötigt, die die Röntgenoptik bewegt.

Das Gehäuse der Linearachse wird auf Hochvakuum HV < 10-6mbar evakuiert. Auf Grund der hohen Ansprüche an die Güte der Monochromator Röntgenoptik wurde bei der Fertigung auf Kohlenwasserstofffreiheit (Partialdruck Massen größer 45 AMU < 1*10-9mbar) besonderes Augenmerk gelegt.

Das Gehäuse besteht aus zwei Tanks, einem großen Haupttank und einem kleinern Nebentank, die über Flansche miteinander verbunden werden, wobei die Dichtheit dieser Flanschverbindung hohe Priorität hat (Leckrate kleiner 1*10-10mbar * l/sec). In den Tanks sind mehrere Montageluken für den Zugang zu der innen liegenden Mechanik und Sensorik.

Die Tanks sind das Vakuumgehäuse  für den Large Offset Monochromator (LOM500) bei DESY in Hamburg.