IBE-215
Dienstag, 12. Dezember 2017

Ionenstrahlätzanlage IBE- 215

Die Ionenstrahlätzanlage  IBE-215 ist eine verfahrenstechnische Anlage zum Ăśbertragen von (Mikro-) Strukturen auf Substraten bis zu einem Durchmesser von 215mm.
Hierbei handelt es sich um eine neue Entwicklung im Hause NTG, die als Grundlage unsere langjährige Erfahrung auf dem Gebiet der nanometergenauen Formkorrektur mittels Ionenstrahlen (IBF) nutzt. Die IBE-215 wurde zur Strukturübertragung entwickelt, die zum Beispiel bei der Herstellung von Mikrooptiken und von diffraktiven optischen Elementen eingesetzt wird, die eine Reihe technologische Vorteile gegenüber „klassischen“ refraktiven Optiken bieten.
Die IBE-215 ist wahlweise mit einer Kaufmann-Ionenquelle oder eine HF-Ionenquelle ausgestattet, die jeweils ein homogenes Ätzen aus Substraten bis 6“ Durchmesser erlauben, wobei sowohl reaktives (RIBE) als auch nicht-reaktives (IBE) Ätzen möglich ist. Während des Prozesses kann das Substrat sowohl vor der Quelle rotiert und verfahren werden, sodass die Homogenität der Ätzrate und der Selektivität weiter verbessert werden, als auch kontinuierlich mittels Wasserkühlung von der Substratrückseite her gekühlt (und geheizt) werden. Damit lässt sich ein Verbrennen des Fotolacks verhindern und ein gezieltes Beeinflussen der Selektivität ermöglichen. Der Winkel, mit dem die Ionen auf das Substrat auftreffen kann zwischen 0° und 90° variiert werden.
Die Anlage ist zudem mit einer Schleuse ausgestattet, die es erlaubt, Substrate zu wechseln ohne das Vakuum in der Prozesskammer nennenswert zu beeinflussen, da dieses fĂĽr den Prozess sehr kritisch ist. Die Ionenquelle ist ebenfalls mit einem Schieber ausgestattet, damit sowohl des Filament der Kaufmannquelle, als auch des Neutralisators ohne BelĂĽften der Prozesskammer getauscht werden kann.
Wie bei den bestehenden IBF-Anlagen erfolgt auch bei der IBE-215 die gesamte Steuerung der Anlage (Ionenquelle, Vakuum, Bewegungssystem, Prozess etc.) über ein GUI, das im Hause NTG entwickelt wird und flexibel an bestehende Bedürfnisse angepasst werden kann. Neben der Möglichkeit Rezepte anzulegen und abzuarbeiten werden sämtliche prozessrelevanten Daten für jedes Substrat mitgeschrieben, um den Verlauf der Ätzung jederzeit nachzuvollziehen.
Momentan erweitern wir im Rahmen des Shapion-Projektes zusammen mit unseren Projektpartnern das Konzept um in-situ-Messmethoden, um den Ätzprozess überwachen und ggf. eingreifen zu können.

Detaillierte Informationen können Sie hier downloaden:

IBE-215