Temperatur Logger VACUTECT-K
Dienstag, 12. Dezember 2017

Temperatur Logger VACUTECT-K

Der Temperaturlogger ist f├╝r den Einsatz unter UHV-Bedingungen konzipiert. Durch seine geringe Ausgasrate ist er f├╝r die Temperaturmessung von Substraten w├Ąhrend der IBF-Bearbeitung (IBF-300 bis IBF-2000) pr├Ądestiniert. Die Messwerte werden gespeichert und k├Ânnen mit der mitgelieferten Software ausgewertet werden. Als Erg├Ąnzung k├Ânnen Alarmsignale  f├╝r das ├ťber-/Unterschreiten einer bestimmten Temperatur definiert werden.

  • Sensor: Type K
  • Logger Messbereich: -200 bis +1370┬░C
  • Sensor Messbereich: -65 bis +300┬░C
  • Absolutgenauigkeit: +/- 1┬░C
  • Aufl├Âsung: 0,1┬░C
  • Sampling Rate: 1s - 12h
  • Speicherkapazit├Ąt: 31808 Werte
  • Alarm LED, wiederaufladbare LiPo Batterie