Wei├člichtinterferometer
Donnerstag, 29. Juni 2017

MicroXAM-100

MicroXAM 100 optischer Profiler

  • Modi: PSI und VSI
  • manueller X-Y-Tisch, Verfahrweg: 100x100mm
  • 1 Micrometer Schrittweite
  • 10X Objektiv
  • 2,5X Michelsen Objektiv
  • Vertikale Aufl├Âsung: 0,1nm (PSI Modus)