NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

Temperatur Logger VACUTECT-K

Der Temperaturlogger ist für den Einsatz unter UHV-Bedingungen konzipiert. Durch seine geringe Ausgasrate ist er für die Temperaturmessung von Substraten während der IBF-Bearbeitung (IBF-300 bis IBF-2000) prädestiniert. Die Messwerte werden gespeichert und können mit der mitgelieferten Software ausgewertet werden. Als Ergänzung können Alarmsignale  für das Über-/Unterschreiten einer bestimmten Temperatur definiert werden.

  • Sensor: Type K
  • Logger Messbereich: -200 bis +1370°C
  • Sensor Messbereich: -65 bis +300°C
  • Absolutgenauigkeit: +/- 1°C
  • Auflösung: 0,1°C
  • Sampling Rate: 1s – 12h
  • Speicherkapazität: 31808 Werte
  • Alarm LED, wiederaufladbare LiPo Batterie