NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

R-IBE

Im Gegensatz zu den IBF-Anlagen kommt bei den R-IBE Anlagen ein möglichst großflächiger homogener Ionenstrahl zum Einsatz. Man unterscheidet zwischen den, rein physikalischen IBE-Prozesse des Direktätzens und den chemisch, durch Reaktivgas unterstützten R-IBE-Prozessen. Grundsätzlich beherrschen alle, im folgenden vorgestellten Anlagentypen beide Verfahrensweisen.