NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

Ionenstrahl-Bearbeitung

Bereits 1991, als noch niemand von Nanotechnologie sprach, begann NTG mit der Entwicklung von Ionenstrahlbearbeitungsanlagen zur nanometergenauen Korrektur von Oberflächen.

IBF

IBF(Ion Beam Figuring)-Anlagen kommen immer dann zum Einsatz wenn die erforderliche Oberflächenqualität mit konventionellen Schleif-, bzw. Poliermaschinen nicht mehr erreichbar ist. Zu den Kunden zählen die bekanntesten Hersteller von Hochleistungsoptiken weltweit.

Während sich in der Vergangenheit das Einsatzgebiet überwiegend auf Optiken für Stepper-Objektive beschränkte die in der Halbleiterindustrie zu Lithographiezwecken eingesetzt werden, ist aktuell auch in der klassischen Optik ein Trend zu immer besseren Oberflächen zu erkennen.

(R)-IBE

Zunehmende Bedeutung haben in den letzten Jahren IBE-(Ion Beam Etching) und RIBE-(Reactive Ion Beam Etching)-Anlagen für Strukturübertragungen in harte Materialien (Glas,…) gewonnen. Auch hier verfügt NTG über ein ausgedehntes Anlagenspektrum.

Zusätzlich zu den Komplett-Anlagen bietet NTG ein umfangreiches Angebot an IBF- und IBE- Zubehör an. Dieses reicht von Werkstückhaltern bis zu Gittersystemen.

Vorteile der IBF-Technologie von NTG

  • Berührungsloses Verfahren-keine Spuren auf der Oberfläche
  • keine Induzierung von Spannungen in die Oberfläche
  • nahezu beliebige Geometrie bearbeitbar
  • großes Spektrum an prozessierbaren Materialien
  • Anschaffungskosten vergleichbar mit MRF-Anlagen
  • geringe Betriebskosten
  • keine Schleifmittel erforderlich
  • nahezu Verschleißteilfrei
  • kaum Reinigungsaufwand (an Werkstück und Maschine)
  • wartungsarm
  • Oberflächengüten PV < λ /10 bis λ/20 erreichbar (je nach Erfordernis an Qualität & Prozessgeschwindigkeit)
  • Oberflächengüten PV < λ/100, rms < 1nm erreichbar ohne Zusatz­investitionen
  • Know-How aus über 25 Jahren IBF-Bearbeitung