NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

ISA 200

 

Die ISA 200 ist eine reaktivgasfähige Ionenstrahlätzanlage bei der gleichzeitig zum Ätzprozess gezielt Partikel in die Oberfläche dotiert werden können. Dies geschieht über Sputtertargets aus denen mittels einer zweiten Ionenquelle die Partikel gezielt extrahiert werden.

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ISA 200