NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

R-IBE 450

 

Die R-IBE 450 ist die vergrößerte Ausführung der R-IBE 215. Es können ebenfalls Direktätzungen per IBE- oder RIBE- Prozess durchgeführt werden. Als erste Anlage dieser Art kann die R-IBE 450 jedoch auch subaperturisch arbeiten.

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R-IBE 450