Druckluftdurchführungen dienen dem Zweck Elemente in einer Vakuum-Kammer möglichst "schnell" mit hinreichender Genauigkeit linear zu verfahren.

Die Durchführungen können mit einer wassergekühlten Welle ausgestattet werden.

Technische Daten:

Anschlußflansch: min. DN 100 (CF oder ISO-K)
Druck: 4-6bar
Leckrate: 10-10mbar*l/sec
Ausheizbar bis 300°C
Hub: nach Kundenvorgabe

Diese Durchführungen können auch als Doppel-Durchführung für unabhängige Bewegungen von zwei verschiedenen Elementen aufgebaut werden.

Auf Anfrage ist es möglich das System mit einem anderen Anschlußflansch zu liefern.