Unterdruck-Regelungs-Anlage

Die Unterdruckregelungsanlage dient zur Regelung des Prozessdrucks in einer Prozesskammer zwischen Normaldruck und einem definierten Unterdruck und besteht im wesentlichen aus folgenden Baugruppen

• Regelbehälter
• Unterdruckbehälter
• Gasbehälter

 
Der Regelbehälter dient als Puffer zwischen der Prozesskammer und dem Unterdruck- bzw. Gasbehälter. Ein digitales Auswertesystem erhält den Druck-Sollwert der Prozesskammer und vergleicht ihn mit dem Druck-Sollwert der vorhandenen übergeordneten Regelung. Über gesteuerte Regel-Ventile erfolgt eine automatische Anpassung an die gewünschten Sollwerte.