Unsere IBF 5 stellt einen Meilenstein unserer Firmengeschichte dar. Durch die Verwendung unserer neuen RF 5 µB Ionenstrahlquelle mit kleinster Werkzeuggröße von 40µm bei Abtragsraten >40nm/s erschließen sich neue Anwendungsgebiete in der Mikrooptik. Wartungsintervalle von 2000 Stunden ermöglichen Langzeitbearbeitungen, welche im Hinblick auf Mold-Array Fertigung unabdingbar sind.
Wegen der kleinen Werkzeuggröße sind höchste Anforderungen an Genauigkeit der Positionierung und Dynamik gestellt. Um dem Kunden die Bedienung so einfach wie möglich zu gestalten verwenden wir teils eigens entwickelte Präzisions-Sensorik in Vakuumausführung innerhalb der Prozesskammer: Ein Konfokal-Sensor, ein Video-Mikroskop und ein Mikro-Faraday-Cup als Systemreferenz stellen sicher, dass das Werkzeug in Relation zum Werkstück einen maximalen Versatz von <1µm aufweist.
Weitere Informationen finden Sie hier: Ionenstrahl Technologien
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