Neben den bereits vorgestellten Ionenquellen-Neuentwicklungen im Bereich der Ionenstrahlbearbeitung liefern unsere Standardionenquellen RF40 und RF60 einen hervorragenden Dienst. Bei beiden Systemen handelt es sich um RF-getriebene Ionenquellen mit Argon als Standardarbeitsgas. Durch die Vermeidung von Elektroden im Plasmabereich ist die Ionenquelle sehr langzeitstabil und wartungsarm. Die FWHM-Breite des gaußförmigen Ionenstrahls ist einstellbar im Bereich von 0.5mm bis zu 30mm. Die Peak-Abtragsrate liegt je nach gewählter Konfiguration bei bis zu 12nm/s in Bezug auf Quarz als zu bearbeitendes Material. Dies wird durch verschiedene Extraktionssysteme bzw. Blendensysteme realisiert.
Um den Ionenstrahl während der Bearbeitung ladungstechnisch zu neutralisieren kommt eine Heißkathoden-Neutralisation zum Einsatz, welches Elektronen emittiert um die positive Ladung des Ionenstrahls zu kompensieren und Aufladungseffekte an der Oberfläche des Werkstücks zu verhindern.
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Hier finden Sie weitere Informationen zur Ionenstrahl-Bearbeitung.
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