… ist die kleinste Ionenstrahlbearbeitungsanlage aus dem Hause NTG. Optische Komponenten von 0.5mm bis 5mm Durchmesser können hier in höchster Präzision bearbeitet werden. Die mit bis 3kV arbeitende, neu entwickelte Ionenquelle auf Basis eine HF-Anregung und Pentoden-Extraktionssystems kann mit variablem Strahldurchmesser von ca. 40-150μm sowohl zur Formkorrektur als auch zur Formgebung eingesetzt werden.
Pushing the limits: 40µm Sub-Apertur Ionenstrahlbearbeitung
Seit 30 Jahren beschäftigen wir uns mit Ionenstrahl-Bearbeitungsanlagen zur Herstellung von ultrapräzisen optischen Oberflächen. Stand der Technik sind bearbeitbare Optikdurchmesser im Bereich von 5 mm – 2000 mm mit frei definierbaren Formen.
Jetzt verschieben wir die Grenzen hin zu kleineren Optiken mit einer Größe von <1 mm bis 5 mm. Diese Optiken sind zwingend erforderlich für Schlüsseltechnologien in den Wachstumsmärkten Medizintechnik, physikalische Messtechnik, Kommunikationstechnik, Energietechnik, analytische Chemie, Lasertechnik und Luft- und Raumfahrttechnik. Stark gekrümmte und frei geformte Elemente ermöglichen kompakte effiziente Systeme.
Unser neues Werkzeug, eine HF-getriebene Ionenstrahlquelle, zeichnet sich durch einen Ionenstrahlquerschnitt von 40 µm (Gaußform Halbwertsbreite) mit einem Zentralabtrag von >40 nm/s aus. Dies ermöglicht einen hohen Volumenabtrag und erlaubt die effiziente Bearbeitung von mikrooptischen Komponenten mit höchsten Anforderungen an Rauheit und Formgenauigkeit. Ein neu entwickeltes 5-Gitter-Extraktionssystem ermöglicht eine flexible Strahlgröße für Ionenenergien bis zu 3 keV. Kundenspezifische Systeme für höhere Energien oder größere Strahlen können auf Basis von Strahldynamiksimulationen entwickelt werden. Wartungsintervalle im Bereich von 2000 Stunden ermöglichen Langzeitbearbeitungen von mehreren Optiken in einem Durchlauf.
Das erste System wurde 11/2020 bei einem Kunden in Betrieb genommen. Weitere Maschinen befinden sich im Bau und werden dieses Jahr ausgeliefert.
Detailliere Informationen finden Sie hier: IBF5
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