Das von NTG gefertigte, gelieferte und installierte System besteht aus 22 Spiegelkammern welche auf einem Stahlgestell oder Granitblock montiert sind, optische Tische (Breadboards) für jede Kammer welche mechanisch entkoppelt und unabhängig der Kammern in der Höhe verstellbar sind, 103m Rohr DN500, diverse Vakuumschieber, Stahlgestelle, Rohrstützen, Granitblöcke und ein komplettes Vakuumsystem.
Die Herausforderung bei diesem Projekt war, sehr saubere und partikelarme Komponenten zu liefern. Alle Bauteile, welche mit dem Vakuum in Berührung kommen, wurden elektropoliert und unter Reinraumbedingung gereinigt um Rückstände von Kohlenwasserstoffen, Verschmutzungen und Partikel auf der Oberfläche zu vermeiden.
Die Montage der Vakuumkomponenten fand abschnittsweise unter ISO5 Bedingungen statt.
Weitere Informationen zur Vakuum-Technologie und unseren UHV Kammern finden Sie hier
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