So lautete der Titel des Beitrages von Dr. David Schäfer auf der 10. Wetzlarer Herbsttagung am Mittwoch, den 30.09.2020  – eine der wenigen Präsenzveranstaltungen die in diesem Jahr statt fanden. 

 

Seit 30 Jahren beschäftigen wir uns mit Ionenstrahl-Bearbeitungsanlagen zur Herstellung von ultrapräzisen optischen Oberflächen. Stand der Technik sind bearbeitbare Optikdurchmesser im Bereich von 5 mm – 2000 mm mit frei definierbaren Formen.

Jetzt verschieben wir die Grenzen hin zu kleineren Optiken mit einer Größe von <1 mm bis 5 mm. Diese Optiken sind zwingend erforderlich für Schlüsseltechnologien in den Wachstumsmärkten Medizintechnik, physikalische Messtechnik, Kommunikationstechnik, Energietechnik, analytische Chemie, Lasertechnik und Luft- und Raumfahrttechnik. Stark gekrümmte und frei geformte Elemente ermöglichen kompakte effiziente Systeme.

Unser neues Werkzeug, eine HF-getriebene Ionenstrahlquelle, zeichnet sich durch einen Ionenstrahlquerschnitt von 40 µm (Gaußform Halbwertsbreite) mit einem Zentralabtrag von >40 nm/s aus. Dies ermöglicht einen hohen Volumenabtrag und erlaubt die effiziente Bearbeitung von mikrooptischen Komponenten mit höchsten Anforderungen an Rauheit und Formgenauigkeit. Ein neu entwickeltes 5-Gitter-Extraktionssystem ermöglicht eine flexible Strahlgröße für Ionenenergien bis zu 3 keV. Kundenspezifische Systeme für höhere Energien oder größere Strahlen können auf Basis von Strahldynamiksimulationen entwickelt werden. Wartungsintervalle im Bereich von 2000 Stunden ermöglichen Langzeitbearbeitungen von mehreren Optiken in einem Durchlauf.

Das erste System wurde 11/2020 bei einem Kunden in Betrieb genommen. Weitere Maschinen befinden sich im Bau und werden dieses Jahr ausgeliefert.

Die komplette Präsentation von Dr. David Schäfer finden Sie hier: Pushing the limits: 40µm Sub-Apertur Ionenstrahlbearbeitung

Hier finden Sie einen Beitrag zu unserer kleinsten und jüngsten Ionenstrahlbearbeitungsmaschine: IBF 5